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(Zr, Sn)TiO_4薄膜的制备及电性能研究进展

陈飞 , 周洪庆 , 朱海奎 , 韦鹏飞 , 陈栋 , 刘敏

硅酸盐通报

从对薄膜材料不断增长的性能要求出发,介绍了(Zr, Sn)TiO_4薄膜的晶体结构特征,主要阐述了其已有的制备工艺及电性能的研究进展.提出(Zr, Sn)TiO_4薄膜的制备方法将得到拓展和改进,指出了其今后的研究方向.

关键词: (Zr,Sn)TiO_4薄膜 , 晶体结构 , 制备 , 性能