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Al含量对(V,W,Al)N复合膜微观组织和抗氧化性能的影响

喻利花 , 王杰 , 许俊华

材料热处理学报

采用多靶磁控溅射仪,制备不同Al含量的(V,W,Al)N复合膜.利用X射线衍射仪、纳米压痕仪和热处理炉及热失重分析仪对(V,W,Al)N复合膜的微观组织、力学性能及高温抗氧化性能进行表征.结果表明:当Al含量低于14.86 at％时,(V,W,Al)N复合膜存在面心立方结构(V,W)N、WN相及六方...

关键词: (V,W,Al)N复合膜 , 微观组织 , 力学性能 , 抗氧化性能