喻利花
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王杰
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许俊华
材料热处理学报
采用多靶磁控溅射仪,制备不同Al含量的(V,W,Al)N复合膜.利用X射线衍射仪、纳米压痕仪和热处理炉及热失重分析仪对(V,W,Al)N复合膜的微观组织、力学性能及高温抗氧化性能进行表征.结果表明:当Al含量低于14.86 at％时,(V,W,Al)N复合膜存在面心立方结构(V,W)N、WN相及六方结构V2N相,当Al含量高于14.86 at％时,薄膜存在面心立方结构(V,W)N、WN相及六方结构V2N和AlN相;随Al原子百分含量的增加,复合膜的硬度呈先增大后减小的趋势,当Al原子百分含量达到14.86 at％时,其硬度最大值为35.5 GPa;随Al含量的增加,(V,W,Al)N复合膜抗氧化性能提高了至少200 ℃.讨论Al含量对(V,W,Al)N复合膜性能的影响.
关键词:
(V,W,Al)N复合膜
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微观组织
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力学性能
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抗氧化性能
