赵时璐
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张震
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张钧
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王双红
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张正贵
稀有金属
采用多弧离子镀技术和Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶,在WC-8％Co硬质合金基体上制备了(Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N和CrN/(Ti,Al,Zr,Cr)N 2种四元双层氮化物膜.利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)分析2种双层膜的微观组织、成分和结构;利用划痕仪和显微硬度计对比2种双层膜的力学性能.结果表明,获得的2种双层膜均具有B1-NaCl型的TiN面心立方结构;双层膜的组织均是典型的柱状晶结构;沉积偏压为-50～-200 V时,双层膜的力学性能均优于(Ti,Al,Zr,Cr)N单层膜,并与Ti-Al-Zr-Cr-N系梯度膜的力学性能相当,同时(Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N双层膜可获得更高的硬度(HV0.01最高值为41 GPa),而CrN/(Ti,Al,Zr,Cr)N双层膜可获得更强的膜层与基体间结合力(所有值均大于200 N).
关键词:
多弧离子镀
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(Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N
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CrN/(Ti,Al,Zr,Cr)N
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显微硬度
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结合力
