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磁控溅射多层沉积Nb3Sn超导薄膜

李金海 , A. A. Rossi , V. Palmieri

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.32.S1.59

Nb3 Sn金属合金是一种性能优良的超导材料。磁控溅射多层沉积是用两个溅射源分层沉积铌和锡，再经过高温退火后获得超导薄膜的方法。用这种方法所获得的超导薄膜的原子组分的调整比较方便，对于Nb3Sn的研究较为有利。实验测量了样品的超导参数和晶格参数，其超导临界温度(Tc)可达17 K，剩余电阻率(RRR)为5左右。需要进一步研究相关工艺，以便提高RRR，从而使这种方法在超导加速腔的制造中得到应用。

关键词: 磁控溅射 , 超导薄膜 , Nb3 Sn , 多层沉积