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Properties of Boron-dopedμc-Ge:H Films Deposited by Hot-wire CVD

HUANG Haibin , SHEN Honglie , WU Tianru , LU Linfeng , TANG Zhengxia , SHEN Jiancang

武汉理工大学学报-材料科学版(英文版) doi:10.1007/s11595-015-1182-x

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