马胜利
,
徐健
,
介万奇
,
徐可为
,
M.G.J.Veprek-Heijman
,
S.Veprek
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2004.06.022
用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法获得了Ti1-xAlxN硬质薄膜;考察了Al含量x及高温退火对薄膜微观结构转变过程及其硬度的影响.结果表明,制备的Ti1-xAlxN薄膜由3-10 nm晶粒组成.随Al含量x增加,薄膜硬度升高,x超过0.83时,硬度开始急剧下降;结构分析证实x小于0.83,Ti1-xAlxN薄膜是固溶强化;x=0.83,薄膜中出现六方氮化铝相(h-AlN).热稳定性实验表明,Ti1-xAlxN薄膜的纳米结构和硬度在N2环境下可以维持到900℃.
关键词:
(Ti
,
Al)N硬质薄膜
,
微观结构
,
硬度
,
热稳定性
