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Study of High Capacitance Ratios CPW MEMS Shunt Switches

Jianhai Sun , Dafu Cui

稀有金属材料与工程

关键词:

A Novel Integrated PZT-Driven Micropump and Microvalve

Zhaoxin Geng , Dafu Cui , Haining Wang , Changchun Liu , Bo Su

稀有金属材料与工程

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