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PbTiO3铁电薄膜晶化工艺研究

姜斌 , 齐增亮 , 耿永涛 , 蒋书文 , 李言荣

功能材料

对sol-gel法制备的PbTiO3薄膜采用不同晶化工艺进行晶化,研究了晶化温度和基片对薄膜晶化的影响.研究表明,采用快速晶化工艺时,在550～750℃的较宽温度范围内,薄膜能够结晶形成稳定钙铁矿相结构,在LaAlO3基片上能获得结晶良好、具有(001)择优取向的PbTiO3薄膜.与常规晶化相比,快速晶化处理的薄膜结晶质量好,晶粒较小、分布均匀致密.

关键词: 铁电薄膜 , 快速晶化 , PbTiO3