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丁瑞钦 , 陈毅湛 , 朱慧群 , 黎扬钢 , 丁晓贵 , 杨柳 , 黄鑫钿 , 齐德备 , 谭军
人工晶体学报
本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的P型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究.研究结果表明,ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均与制备工艺条件有密切的关系.文章对这些关系的机理做了探讨和分析.
关键词: ZnO薄膜 , 工艺条件 , 微观结构 , 电学特性
