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电沉积镍薄膜微观结构的动力学Monte Carlo模拟

黄跃宇 , 周益春 , 潘勇

材料导报

采用动力学Monte Carlo方法模拟动力学控制条件下电沉积多晶镍薄膜的生长.研究了表面扩散对电镀薄膜微观结构的影响.模拟结果显示,溶液温度和沉积速率是2个非常重要的参数,它们能改变吸附原子的扩散能力,因而对薄膜的晶粒尺寸、相对密度、表面粗糙度等微观结构产生显著影响.此外,还得到该模式下薄膜的生长因子,大约为0.46.

关键词: 动力学Monte Carlo模拟 , 电沉积 , 镍薄膜 , 微观结构