孙可为
,
周万城
,
黄珊珊
,
唐秀凤
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2012.12213
采用直流磁控溅射法在玻璃基片上沉积ZnO:Al(AZO)薄膜, 溅射气压为0.2~2.2 Pa. 通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、四探针和紫外–可见分光光度计对AZO薄膜的相结构、微观形貌和电光学性质进行了表征. 结果表明: 薄膜的沉积速率随着溅射气压的增大而减小, 变化曲线符合Keller-Simmons模型; 薄膜均为六角纤锌矿结构, 但择优取向随着溅射气压发生改变; 溅射气压对薄膜的表面形貌有显著影响; 当溅射气压为1.4 Pa 时, 薄膜有最低的电阻率(8.4×10-4 Ω·cm), 高的透过率和最高的品质因子Q.
关键词:
ZnO:Al薄膜; 直流磁控溅射; 溅射气压; 光电性质
陈强
,
朱冬梅
,
黄珊珊
,
罗发
,
周万城
硅酸盐通报
采用无压烧结的方法制备了短切碳纤维/氧化铝(Csf/Al2O3)复合材料,研究了短切碳纤维含量变化对复合材料洛氏硬度、抗弯强度及微波介电性能的影响.结果表明:短切碳纤维在氧化铝基体中分散均匀,呈明显的各向异性.随着短切碳纤维含量的增加,复合材料的致密度和洛氏硬度HRA都明显降低,而试样的抗弯强度则先升高后降低.当纤维含量为0.25%时,试样抗弯强度达到最大值285 MPa,相比纯氧化铝基体提高了43.2%.在8.2～12.4 GHz频率范围的复介电常数测试结果表明,复介电常数的实部和虚部随碳纤维含量的增加先逐渐上升,当碳纤维含量从0.5%增加到0.65%时,试样的介电常数实部和虚部都显著降低,这主要是由于试样的致密度急剧下降造成的.
关键词:
短切碳纤维
,
无压烧结
,
致密度
,
介电常数
孙可为
,
周万城
,
黄珊珊
,
唐秀凤
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2012.12213
采用直流磁控溅射法在玻璃基片上沉积ZnO∶Al(AZO)薄膜,溅射气压为0.2～2.2 Pa.通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、四探针和紫外-可见分光光度计对AZO薄膜的相结构、微观形貌和电光学性质进行了表征.结果表明:薄膜的沉积速率随着溅射气压的增大而减小,变化曲线符合Keller-Simmons模型;薄膜均为六角纤锌矿结构,但择优取向随着溅射气压发生改变;溅射气压对薄膜的表面形貌有显著影响;当溅射气压为1.4 Pa时,薄膜有最低的电阻率(8.4×10-4 Ω·cm),高的透过率和最高的品质因了Q.
关键词:
ZnO:Al薄膜
,
直流磁控溅射
,
溅射气压
,
光电性质
