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原子层淀积Al₂O₃薄膜表面自组装Au纳米颗粒及其热稳定性

黄玥　廖忠伟苟鸿雁丁士进张卫

材料研究学报

在原子层淀积的Al₂O₃薄膜表面自组装生长Au纳米颗粒，研究了Au纳米颗粒的自组装过程和热稳定性. 结果表明，原子层淀积的Al₂O₃薄膜表面很容易吸附氨丙基三甲基硅烷(APTMS), 有利于Au纳米颗粒的自组装, 生长出的Au纳米颗粒尺寸为5--8 nm, 密度约为4×10¹¹cm^-2. 在300℃氮气中退火使Au纳米颗粒的尺寸增大, 但是没有改变APTMS的吸附状态和Au的化学组成. 当退火温度提高到450℃时, Au纳米颗粒发生明显的团聚, 且分布变得极不均匀.

关键词: 金属材料 , self-assembly growth , Au nano-particles , thermal stability