周晟
,
李毅
,
朱慧群
,
孙若曦
,
张宇明
,
黄毅泽
,
李榴
,
沈雨剪
,
郑秋心
,
佟国香
,
方宝英
稀有金属材料与工程
为解决VO2薄膜相变温度过高,热滞回线温宽过大以及掺杂后红外透过率变低等问题,开展了低成本钨钒共溅热致变色薄膜制备工艺的探索.先在室温条件下采用磁控共溅射的方法于玻璃基片上制备得到含钨量为1.4％的金属薄膜,再在空气中采用后退火工艺使金属薄膜充分氧化为热致变色薄膜.对薄膜样品的物理结构和光学性能进行了分析,发现钨钒共溅没有改变VO2薄膜在玻璃表面择优取向生长,但显著改变了VO2薄膜的表面形貌特征.观察到钨钒共溅热致变色薄膜的相变温度较普通VO2薄膜从68℃降低至40℃,热滞回线温宽由6℃缩小为3℃,低温半导体相的红外透过率分别为62％和57％.结果表明,钨钒共溅可达到相变温度降低,热滞回线温宽变窄,掺杂前后红外透过率变化不大之目的.
关键词:
热致变色
,
共溅射
,
VO2薄膜
,
相变
李毅
,
王海方
,
俞晓静
,
黄毅泽
,
张虎
,
张伟
,
朱慧群
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2009.12.020
基于半导体和金属间的相变特性,伴随着温度、电场、压力的变化,具有相关智能特性的VO_2薄膜材料具有较大的应用潜力.本文主要阐述脉冲激光沉积技术在制备金属氧化物方面的物理过程和技术特点,详细介绍脉冲激光沉积制备VO_2薄膜材料的工艺参数和国内外研究进展,并与几种常规制备方法进行对比,给出脉冲激光沉积掺杂对VO_2薄膜材料特性的影响,以及采用脉冲激光沉积制备VO_2纳米材料,讨论了脉冲激光沉积制备具有智能特性的VO_2薄膜材料存在的问题和发展方向.
关键词:
脉冲激光沉积
,
VO_2
,
薄膜
,
制备
,
掺杂
