卢朝靖
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王世敏
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邝安祥
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黄桂玉
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王龙海
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王典芬
材料研究学报
采用XPS方法研究了sol-gel工艺制备的KTN(x=0.35)薄膜的成分和结构.结果表明,除了表面被碳污染外,薄膜中无残余的碳和其他杂质.其成分与原料的化学计量比相近,且沿深度均匀分布.各元素的化学状态证实薄膜系钙钛矿型KTN结构.Ar+溅射后的XPS谱反映K严重偏低,Ta和Nb的化学状态改变,是Ar+轰击引起K择优溅射及化合物分解所致.
关键词:
钽铌酸钾(KTN)薄膜
,
valence state. XPS
,
sol-gel
,
KTN thin film. Ar~+ sputtering
王龙海
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罗英军
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王世敏
,
黄桂玉
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.01.008
本文用XRD、SEM等分析手段,对用Sol-Gel法制备的Gel膜在不同热处理条件下处理后的KTN薄膜进行分析.发现热处理的气氛、升降温速率、烧结温度对薄膜的结构和形貌影响很大,并对其的影响进行了分析讨论.在合适的热处理条件下,在SrTiO3(100,111)衬底上制备出了高取向、晶粒大小均匀、排列紧密、纯钙钛矿结构的KTN薄膜.
关键词:
KTN
,
Sol-Gel热处理
,
钙钛矿结构
,
表面形貌
