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黄桂娟 , 孔春阳 , 秦国平
材料导报
Zn1-xMgxO薄膜作为一种新型的宽带隙半导体材料,近年来一直受到广泛的关注.获得高质量稳定的p型Zn1-xMgxO薄膜是实现其光电应用的关键.概述了Zn1-xMgxO薄膜及其p型掺杂的研究现状,介绍了Zn1-xMgxO薄膜结构、光电性质及在光电领域的应用,并提出了有待进一步研究的问题.
关键词: Zn1-xMgxO薄膜 , 宽禁带半导体材料 , p型掺杂
