黄林芸
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李晨辉
,
柯文明
,
史玉升
,
贺智勇
,
张启富
无机材料学报
doi:10.15541/jim20140428
以AlN粉末为原料,添加稀土氧化物(Sm2O3、Y2O3),在氮气气氛下,采用SPS烧结方法制备AlN陶瓷,研究稀土氧化物的掺杂对AlN烧结试样相组成、微观结构和电性能的影响。实验表明： Sm2O3、Y2O3与Al2O3反应生成的液相稀土金属铝酸盐会提高AlN陶瓷致密度,且在晶界处形成导电通路降低了AlN陶瓷电阻率。随着Sm2O3掺杂量的增加,晶界相逐渐由Sm4Al2O9过渡到SmAlO3,且Sm4Al2O9对电阻率贡献最大。其中,3wt% Sm2O3掺杂AlN陶瓷电阻率最低,为1.32×1010?·cm,相对密度为99.33%。Y2O3掺杂量的增加会使晶界处钇铝酸盐由富铝酸盐向富钇酸盐转变,三者电阻率相差较小, Y2O3含量高于3wt%的AlN陶瓷电阻率维持在1×1010?·cm左右,其中4wt%Y2O3掺杂AlN相对密度最高为99.08%。
关键词:
氮化铝
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氧化钐
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氧化钇
,
放电等离子烧结
,
电性能
