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退火工艺对0.9Al2O3-0.1TiO2微波介质陶瓷性能与结构的影响

陈涛 , 王哲飞 , 黄宝玉 , 王丽熙 , 付振晓 , 张其土

人工晶体学报

采用反应烧结法制备0.9Al2O3-0.1TiO2微波介质陶瓷,研究了退火时间,退火气氛对其物相组成、显微结构、微波介电性能的影响.结果表明:经过退火后,第二相Al2TiO5分解,陶瓷的表面规整,致密度高;延长退火时间以及合适的退火气氛可以有效地提高0.9Al2O3-0.1TiO2陶瓷的Q×f值.在空气气氛下,1350℃烧结4h,氧气气氛下1100℃退火20h的0.9Al2O3-0.1TiO2微波介质陶瓷具备优异的介电性能:εr=12.50,Q×f=79812 GHz,t=0.13 ppm/℃.

关键词: 0.9Al2O3-0.1TiO2 , 反应烧结 , 退火工艺 , 微波介质陶瓷

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