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单晶硅低能电子束辐照效应

高晖 , 王和义 , 张华明 , 黄利斌 , 何小波 , 周银行

材料科学与工程学报

利用Monter-Carlo方法,模拟低能一维平面电子束在本征、不同掺杂类型、掺杂浓度下的单晶Si中能量沉积分布情况.采用电子顺磁共振(EPR)技术测量了(111)晶向、两种掺杂类型下的掺杂浓度分别为1×1015cm-3、1×1017cm-3的单晶硅片在一定电子注量下辐照前后缺陷顺磁吸收谱,比较了样...

关键词: 低能电子束 , 单晶硅 , 能量沉积 , 辐照效应