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钽金属的气体渗氮动力学

黄倩柳 , 张德元 , 曾卫军

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2001.03.018

研究了钽在较低的温度(600～1000℃)下、105Pa纯氮中渗氮的物相组成和硬化行为.发现表面层由体心立方的N在Ta中的固溶体、六方氮化物Ta2N和TAN组成,但TaN的结构随处理温度不同有所变化.这种变化对渗氮过程有重大影响.渗氮动力学在试验范围内符合抛物线规律,但在不同的温度段有不同的活化能值.

关键词: 钽气体渗氮 , 动力学