李浩
,
李成明
,
吕反修
,
唐伟忠
,
陈广超
,
鲍学进
,
刘政
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.01.038
为了解决金刚石膜脱膜开裂的问题,尝试了一种复合衬底,即镀有钛过渡层的钼衬底.利用直流等离子体喷射法在复合衬底上制备了不同厚度无裂纹的自支撑金刚石膜.用扫描电镜(SEM)、拉曼谱和X射线衍射表征金刚石膜的特征,并检测了其断裂强度.结果表明,用复合衬底制备的金刚石膜在950℃具有最小半高宽,在实验温度下所获得的金刚石自支撑膜的断裂强度均超过了500MPa.
关键词:
金刚石膜
,
复合衬底
,
钛过渡层
,
直流等离子体喷射法
,
自支撑金刚石膜
