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钛掺杂介孔二氧化硅薄膜的制备与表征

岳春晓 , 姚兰芳 , 鲁风芹

稀有金属材料与工程

采用溶胶-凝胶工艺,选用表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)为模板剂,通过正硅酸乙酯(TEOS)和钛酸丁酯(TPOT)的分步水解得到均匀的SiO2-TiO2复合溶胶,制备了具有介孔结构的钛掺杂的二氧化硅薄膜.薄膜的折射率在1.20～1.236之间可调,介电常数在2.54～2.817之间.随着钛...

关键词: 溶胶-凝胶法 , 钛掺杂的二氧化硅薄膜 , 介孔结构