张启龙
,
杨辉
,
魏文霖
,
王信权
,
陆德龙
硅酸盐通报
doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2004.04.021
研究了烧结助剂ZnO-B2O3对BiNbO4陶瓷烧结特性及介电性能的影响.结果表明:ZnO-B2O3形成晶界玻璃相存在于晶粒之间,促进烧结,大幅度降低BiNbO4陶瓷的烧结温度,促使瓷体晶粒尺寸均匀和致密;但ZB的质量分数大于3%,阻碍晶粒长大,破坏晶体结构和排列,导致材料的缺陷和本征损耗增加,从而降低材料的介电性能.ZnO-B2O3的掺杂量以1%为最佳,在880℃保温4h,可达到97%理论密度,在100MHz测试频率下,εr=42,tanδ<1.5×10-3.
关键词:
低温烧结
,
介电性能
,
微波介质陶瓷
,
BiNbO4陶瓷
魏文霖
,
孟祥森
,
袁骏
,
杨辉
,
葛曼珍
,
季振国
材料导报
氮氧化硅(SiON)薄膜是一种新型的薄膜材料,具有优良的充电性能、机械性能、钝化性能和化学稳定性能,但杂质氢的存在限制了它的应用.详细阐述了氮化硅薄中氢杂质的存在活动及其对薄膜性能的影响,并提出了降低氢含量的合理方法.
关键词:
氮氧化硅
,
薄膜
,
性能
,
杂质
,
氢