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AlInN光电薄膜的研究进展

芦伟 , 徐明 , 董成军 , 魏屹

材料导报

AlInN三元合金是优良的Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体材料,具有优良的光学和电学性能,在光电子器件应用方面具有广阔的应用前景.详细评述了近年来AlInN薄膜材料在生长技术、晶体结构、表面形貌、热学特性、光电特性等方面的研究,为AlInN三元合金在光电方面的基础和应用研究提供了重要参考.

关键词: AlInN薄膜 , 制备方法 , 特性 , 应用