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生长温度对ZnO薄膜结构的影响

王金忠 , 王新强 , 闫玮 , 殷宗友 , 马燕 , 姜秀英 , 杨树人 , 高鼎三 , 杜国同

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.02.005

在不同温度下,利用射频等离子体增强型MOCVD系统,在蓝宝石C面上生长出了C轴单一取向的ZnO薄膜,并通过XRD、SEM手段对生长温度与样品的生长速度、表面结构和氧锌原子化学计量比的关系作了较为详细的研究,优化了薄膜的温度生长参数.当生长温度为520oC时,ZnO薄膜的生长速度最大且表面粗糙度较低.当温度为550oC时,可生长出O:Zn为49.99:50:01的近本征ZnO薄膜.

关键词: XRD , SEM , 化学计量比 , ZnO

等离子体辅助MOCVD生长的ZnO薄膜退火改性研究

王金忠 , 王新强 , 王剑刚 , 姜秀英 , 杨树人 , 杜国同 , 高鼎三 ,

功能材料

用等离子体辅助MOCVD法在蓝宝石(α-A12O3)上生长了ZnO薄膜,测试了其退火和未退火薄膜的电阻率、电子浓度、迁移率、激光阈值,并通过X光衍射、光致发光方法表征了ZnO薄膜的质量,其结果是:退火薄膜的电子浓度低达1015/cm3量级、激光阈值降低近30倍、X光衍射峰半高宽是0.29°、在388nm附近的光致发光谱峰半高宽为0.32nm.这表明退火使ZnO薄膜的质量得到大幅度提高.

关键词: 等离子体辅助MOCVD , X光衍射 , 光致发光 , 激光阈值

纳米晶复合氧化物湿敏元件的特性研究

张彤 , 董玮 , 徐宝琨 , 任辉 , 王兢 , 刘国范 , 高鼎三

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.z2.051

利用纳米复合氧化物Ba0.5Sr0.5TiO3材料制作了电阻型湿度敏感元件,对元件进行湿敏特性测试后表明:该元件的阻抗-湿度特性良好,电阻范围适中,湿滞小,不需加热清洗.同时研究了其直流充电-放电特性和交流复阻抗特性,分析了敏感机理.

关键词: 纳米晶 , 相对湿度 , 复阻抗 , 电介质 , 极化

溶胶-凝胶法制备复合钒钼酸铵干凝胶薄膜及其湿敏特性研究

童茂松 , 戴国瑞 , 张玉书 , 吴远大 , 何秀丽 , 高鼎三 ,

功能材料

通过溶胶-凝胶法制备了复合钒钼酸铵H2-x(NH4)xV10M02O31+δ@nH2O(x=0,1,2)干凝胶薄膜,对其进行了XRD和XPS分析,同时研究了其湿敏性能.

关键词: 溶胶-凝胶法 , 复合钒钼酸铵干凝胶 , 薄膜 , 湿敏特性

大功率半导体激光光束整形技术及其在泵浦方面的应用

薄报学 , 宋晓伟 , 王玲 , 曲轶 , 高鼎三

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.03.032

在分析大功率半导体激光器的光束输出特性的基础上,针对Nd:YVO4/KTP腔内倍频激光器的泵浦光源要求,研究了大功率半导体激光器光束输出的多种整形方法,同时比较了不同泵浦光束形状对Nd:YVO4/KTP腔内倍频激光器输出效率的影响.

关键词: 光束整形 , 半导体激光器 , 腔内倍频 , 转换效率

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