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CVD法制备的Ir/Re涂层复合材料界面扩散研究

胡昌义 , 陈松 , 杨家明 , 邓德国 , 高逸群 , 尹志民 , 王云 , 李靖华

稀有金属材料与工程

采用化学气相沉积(CVD)技术制备了Ir/Re涂层复合材料,并在高温高真空条件下对复合材料进行扩散热处理.应用电子扫描波谱法探针研究了Ir/Re复合材料界面Re元素在Ir涂层中的扩散规律.应用半无限大扩散模型进行处理,得到了1 400℃~2 000℃温度范围的实验扩散系数,扩散系数与温度之间符合Arrhenius方程.根据实验结果推算,Ir/Re复合材料在2 200℃时的工作寿命为47.6 h.

关键词: CVD , Ir/Re , 复合材料 , 扩散

铂薄膜化学气相沉积动力学规律探讨

胡昌义 , 尹志民 , 王云 , 万吉高 , 邓德国 , 高逸群

贵金属 doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2003.01.005

以乙酰丙酮铂为沉积源物质,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)法在Mo基体上制备了Pt薄膜.研究了Pt薄膜的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铂的加热温度和运载气体(氩气)流速等沉积参数的关系.Pt的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程:沉积速率与绝对温度的倒数呈现抛物线关系,当温度为550℃时,Pt的沉积速率达到最大值;随着乙酰丙酮铂加热温度的升高,Pt的沉积速率直线增加;而氩气流速的增大则显著减少Pt的沉积速率.SEM波谱成分分析表明,Pt薄膜中含有少量的氧.

关键词: 复合材料 , 铂薄膜 , 化学气相沉积 , 动力学

金属玻璃的粘度及粘滞性流变激活能

高逸群 , 郑福前 , 刘雄 , 廖宗尧

金属学报

用蠕变法测量了PdCu_6Si_(16.5),PdNi_6Si_(16.5)和CuZr_(43)三种金属玻璃在玻璃转变温度附近的粘度-温度依赖关系。在Newtonian粘度范围内,三种玻璃的粘度-温度依赖关系均可用Fulcher-Vogel方程进行描述。方程中的常数由实验曲线所确定,并由此计算出这些玻璃的粘滞性流变的表观激活能。同时用差热分析测定了金属玻璃PdNi_6Si_(16.5)和CuZr_(43)的热转变激活能。结果发现,PdNi_6Si_(16.5)合金的粘滞性流变激活能同热转变激活能的差别很小,而CuZr_(43)合金的差别则比较大。

关键词:

CVD在铱涂层和薄膜制备中的应用

胡昌义 , 李靖华 , 高逸群 , 邓德国 , 尹志民

贵金属 doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2002.01.012

简要介绍化学气相沉积(CVD)技术的一般原理,评述CVD在贵金属铱涂层和薄膜制备方面的应用状况,主要包括:①制备石墨和难熔金属的铱保护涂层;②在石墨和陶瓷基体上沉积铱薄膜.

关键词: 化学气相沉积 , , 涂层 , 薄膜

化学气相沉积法制备铼管的研究

李靖华 , 胡昌义 , 高逸群

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2001.04.012

采用化学气相沉积方法研制成功我国第一只铼管(φ12.5mm×30 mm),研究了铼管的组织结构和其他性能.金相及扫描电镜观察表明,化学气相沉积法制备的铼材基本无缺陷,密度接近理论值;维氏硬度测量值高于加工态工业铼片.化学气相沉积是一种制备铼管的可行且有效的方法.

关键词: 化学气相沉积 , 铼管 , 显微结构

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