连贵君
,
王永忠
,
熊光成
,
高矩
,
华志强
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2000.01.001
利用脉冲激光法研究了在(100)SrTiO3(STO)、(100)LaAlO3(LAO)和(100)Y-ZrO2(YSZ)衬底上外延生长La2CuO4(LCO),La1.85Sr0.15CuO4(LSCO),Nd1.85Ce0.15CuO4(NCCO)和Pr2CuO4(PCO)薄膜的工艺技术.利用X光衍射仪检测了不同条件下制备的薄膜样品结构和取向.X射线衍射结果表明,在合适的制膜条件下可以在这三种衬底上生长出具有单一取向的c轴外延单晶薄膜.LSCO外延薄膜在平面内与衬底的取向关系分别为LSCO[100]∥STO[100]、LSCO[100]∥LAO[100]和LSCO[100]∥YSZ[110].在LSCO外延薄膜上可以生长外延的YBa2Cu3O7(YBCO)超导薄膜,薄膜取向为c轴垂直于膜面和YBCO[100]∥LSCO[100].采用制备外延LSCO薄膜的类似条件,可以在STO和LAO衬底上生长出了LCO、PCO和NCCO外延薄膜.这些外延薄膜与衬底的取向关系与外延LSCO薄膜类似.
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