刘翔
,
陈旭
,
谢振宇
,
高浩然
,
王威
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.04.013
金属电阻是影响大尺寸TFT-LCD信号延迟的关键因素.研究了利用低电阻率金属Al制作大尺寸TFT阵列信号线的生产工艺,发现在完成有源半导体层刻蚀后残留的少量Cl2会在后续工艺中对金属Al造成腐蚀,严重地影响了产品的性能.通过优化刻蚀工艺,采用活性更高的SF6去除刻蚀有源半导体层时残留的少量Cl2,避免了金属Al腐蚀的发生.
关键词:
薄膜晶体管
,
铝
,
腐蚀
,
刻蚀
