岳文
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高晓成
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王松
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付志强
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王成彪
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刘家浚
材料热处理学报
探讨了掺钨类金刚石（W—DLC）膜沉积及离子渗硫两步合成DLC和WS2复合固体润滑膜的新方法。利用低温离子渗硫技术对4种钨含量的W—DLC膜进行离子渗硫处理，采用扫描电子显微镜（SEM）、俄歇扫描探针（SAM）、X射线光电子能谱（XPS）、拉曼光谱仪（Raman），纳米硬度计（Nano—indenter）和摩擦磨损试验机考察了渗硫处理后W．DLC膜的微观结构与摩擦学性能。结果表明：渗硫处理使W—DLC膜中生成了WS2，促进了DLC膜的石墨化，并降低了其纳米硬度；随钨含量增加，渗硫处理的W—DLC膜纳米硬度逐渐升高，摩擦系数和磨损率逐渐减小，渗硫后的27．7％W—DLC膜表现出最优异的摩擦学性能。
关键词:
掺钨类金刚石
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低温离子渗硫
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固体润滑膜
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摩擦学性能
