高农农
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葛林
硅酸盐通报
大幅降低单晶硅的生产成本是光伏行业急需解决的难题之一.本文采用CGSim晶体生长软件,对现有工业单晶炉的热场结构进行了优化并分析了其对加热效率、单晶炉能耗和晶体氧含量的影响.结果表明,随加热器内径的减小,加热器对石墨坩埚的加热效率逐渐提升,进而使加热器的功率大幅下降;同时,熔体中的对流也受到抑制,减小了对流对坩埚壁的冲刷,降低了晶体中的氧含量.当加热器内径为550 mm时,单晶炉的功率降低了25.7％,晶体中的氧含量降低了27.1％,为进一步降低单晶硅的生产成本提供了依据.
关键词:
单晶硅
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加热效率
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氧含量
,
能耗
