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聚晶金刚石薄膜合成工艺的研究

江文清 , 骆忠良

表面技术

目的 优化聚晶金刚石(PDC)薄膜的合成工艺参数.方法 以保温时间、冷却时间、烧结温度为变量,设计PDC薄膜合成正交实验,以旁热式组装合成块进行烧结,测定PDC烧结成品的硬度、磨耗比、电阻值,确定每组烧结品的完整数,并通过综合平衡法对正交实验结果进行分析.结果 保温时间、冷却时间、烧结温度在不同程度上影响PDC的综合质量.结论 最佳工艺参数为:合成温度1350℃,加热时间5 min,冷却时间11 min.

关键词: 聚晶金刚石薄膜 , 合成工艺 , 正交实验