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张杰 , 倪屹 , 刘棋奇 , 马文成 , 李留臣
人工晶体学报
通过有限元分析方法对三维温度梯度法(3DGF)单晶炉内的温场进行数值模拟计算,发现固液交界面附近存在较大的温度梯度,易导致晶体开裂;通过改进坩埚内壁锥度,调整底部隔热屏的结构,选择合适的降温程序取得了较好的实验效果.结果表明,在三维温度梯度法蓝宝石晶体生长过程中,合适的温度梯度和控温程序能够缩短生长周期,提高晶体质量.
关键词: 3DGF法 , 蓝宝石 , 数值模拟 , 有限元
李早阳 , 刘立军 , 马文成 , 余庆华 , 李凯
工程热物理学报
耦合求解了多晶硅定向凝固炉内热传导、热辐射、熔体和氩气热对流等各种耦合换热,比较分析了不同氩气流量下定向凝固炉内部热场分布和硅熔体流动结构。结果表明,当氩气流量增大到一定值时,氩气流对凝固过程中硅熔体流动和热输运的影响显著增强。
关键词: 氩气流 , 多晶硅铸锭 , 定向凝固 , 数值模拟