坚增运
,
马卫红
,
常芳娥
,
严文
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.z1.017
在大气熔炼条件下,用熔融玻璃对铜进行净化,使大体积铜在高铝质陶瓷坩埚中获得了228K的过冷度;在一定过冷度范围内,铜自由凝固后的形核点只有一点,X-射线衍射证明此组织为单晶;从理论上对过冷金属熔体中单晶形成的机理进行了研究,实验得到的形成单晶的过冷度范围与理论计算结果相吻台.
关键词:
深过冷
,
单晶
,
铜
马卫红
,
蔡长龙
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2011.05.024
采用直流磁控溅射方法在载玻片上制备钛钨合金热敏感薄膜,测试了所制备的钛钨合金热敏薄膜在不同温度下的方块电阻,并根据测试曲线计算薄膜的电阻温度系数(TCR).研究了工作气压、氩气流量以及溅射电流对钛钨合金膜TCR的影响,获得了最佳沉积工艺参数,即:溅射电流0.32 A,工作气压0.8 Pa,氢气流量60 cm3/min.在此参数下制备的钛钨合金膜TCR为0.2％/K.测试结果也表明钛钨合金膜的时间稳定性好.
关键词:
钛钨合金膜
,
磁控溅射
,
电阻温度系数
,
工艺参数
