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类金刚石碳膜的热稳定性

夏立芳 , 李光 , 马南

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2000.04.019

总结了各种DLC膜的热稳定性及分析手段，概述了加热退火情况下DLC膜结构、内应力的变化，评述了国内外的最新研究进展，并指出了有待进一步研究的问题.

关键词: 类金刚石碳膜 , 热稳定性 , 退火