罗玉峰
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刘杰
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张发云
,
饶森林
,
胡云
人工晶体学报
利用基于有限元的软件COMSOL Muhiphysics对多晶硅定向凝固过程进行了一系列二维数值模拟,研究了勾形磁场(CMF)对多晶硅定向凝固过程的影响.模拟分别在线圈电流设为0A、10 A、20A、30 A和40A的情况下进行.结果表明:CMF能有效抑制熔体的对流,特别是对坩埚侧壁附近的熔体.CMF可以影响结晶时的固液界面,使结晶初期凸形结晶界面变得平滑.电流从0A逐渐均匀增加到40A时,施加于熔体上的磁场也逐渐增加,熔体的最高流速逐渐减小,而且最高流速的减小量呈现出先增加后减小的趋势.
关键词:
定向凝固
,
磁场
,
熔体对流
,
数值模拟
,
多晶硅
刘志辉
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罗玉峰
,
龚洪勇
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饶森林
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张发云
,
胡云
人工晶体学报
对经过前期提纯的冶金级硅料进行一次性定向凝固生长多晶硅铸锭，研究了长晶阶段降温速率对多晶硅少子寿命的影响。结果显示降温速率越低，获得多晶硅少子寿命越高，但降温速率低到一定程度时，少子寿命反而会降低。通过测试生长多晶硅硅锭曲率半径、晶体结构等数据，分析了该现象的产生原因。这将有助于升级冶金硅一次性定向凝固生长多晶硅铸锭的生产应用。
关键词:
多晶硅
,
冶金硅
,
定向凝固
,
降温速率
,
少子寿命
