张徐
,
刘波
,
宋三年
,
姚栋宁
,
朱敏
,
饶峰
,
吴良才
,
宋志棠
,
封松林
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2013.13210
采用CF4和Ar混合气体研究了新型相变材料Ti0.5Sb2Te3(TST)的刻蚀特性,重点优化和研究了刻蚀气体总流速、CF4/Ar的比例、压力和功率等工艺参数对刻蚀形貌的影响.结果表明,当气体总流量为50 sccm、CF4浓度为26％、刻蚀功率为400W和刻蚀压力为13.3 Pa时,刻蚀速度达到126 nm/min,TST薄膜刻蚀图形侧壁平整而且垂直度好(接近90°)、刻蚀表面平整(RMS为0.82 nm)以及刻蚀的片内均匀性等都非常好.
关键词:
新型相变材料
,
干法刻蚀
,
CF4+Ar气体
,
刻蚀速度
黄宇林
,
童雄
,
叶国华
,
饶峰
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2006.06.031
介绍了钽铌矿物的主要浮选捕收剂即脂肪酸类、膦酸类、羟肟酸类、胂酸类和阳离子类捕收剂等,以及捕收剂对钽铌矿物的捕收能力和选择性,同时介绍了其与钽铌矿物作用机制.认为脂肪酸类捕收剂的捕收能力较强而选择性较差,与钽铌矿物作用时生成了铁和锰的油酸盐,而不是钽铌的油酸盐.膦酸类、羟肟酸类、胂酸类捕收剂也具有较高的捕收能力,而且选择性比脂肪酸类的强,与钽铌矿物的作用机制是化学吸附.同时文章总结了温度、酸处理、 pH值和各种调整剂对浮选效果的影响,表明合适的pH值和调整剂能扩大钽铌矿物与脉石矿物的浮游性差异,提高分选效率.
关键词:
钽铌矿
,
浮选
,
捕收剂
,
调整剂
,
作用机制
