刘仁
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顾辉旗
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安丰磊
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王春林
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张胜文
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刘晓亚
高分子材料科学与工程
合成了水可分散阳离子型丙烯酸酯光敏聚合物(UPDHES),以其为主体树脂制得了阴极光敏电泳涂料乳液,并以铜箔为阴极进行电泳成膜、闪蒸、曝光、显影成像.研究了电泳过程中电流密度的变化对涂膜的影响,并对电泳涂膜进行了扫描电镜表征;考察了光敏树脂双键含量对其光固化动力学及性能的影响;最后对光成像抗蚀荆的分辨率进行了测试.结果表明,以电泳技术制得的抗蚀膜层均匀致密,固化后对基材具有较强的附着力,固化膜的耐磨性及拉伸强度都随双键含量的增加而得到了提高,该抗蚀成像膜分辨率高,最小线宽达到15μm.
关键词:
电泳
,
涂料
,
紫外光
,
成像
,
抗蚀剂
