李彬
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闫占奇
,
李浩
,
韩晓泉
,
吕反修
,
陈广超
,
李宏
人工晶体学报
通过利用光发射谱技术,探测了大功率直流喷射电弧等离子体增强化学气相沉积方法中沉积区域的气相激元分布,进而优选了金刚石生长的位置.在沉积过程中,不断使衬底做背向等离子体的运动,实现了大颗粒金刚石的连续生长,颗粒尺寸达到约1 mm3.采用劳厄背反射X射线衍射测试技术和拉曼谱技术,对所制备的样品进行了测试,结果表明:所制备的颗粒为金刚石单晶.对于大尺寸衬底,研究了背向运动速度对沉积晶体的形貌和质量的影响,发现了ATG型不稳定形貌.
关键词:
直流喷射电弧
,
等离子体
,
化学气相沉积
,
金刚石单晶
胡明庆
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韩晓泉
,
周翊
,
冯泽斌
,
周维虎
,
白路军
连铸
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2015.04.008
设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子激光器放电腔的温度进行实时采集、显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等.系统采用飞思卡尔单片机,以比例阀作为控温执行器件,并且设计了软硬件和优化的控制算法.实验结果表明:在三种不同PID控制方式下,系统控制精度皆能达到±0.2℃;在改进的智能PID控制下,系统超调变小、调节时间减少;在100 Hz和500 Hz不同重频条件下,系统采用智能PID控制时,运行稳定.因此,本系统可为激光器的运行提供良好的温度控制环境.
关键词:
激光技术
,
温度控制
,
智能PID
,
准分子激光器
,
算法
