周梁
,
韩大伟
,
孙泉钦
,
王丹名
,
李华
,
陈垚
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153005.0813
在 TFT-LCD 行业,PECVD 设备主要用于 Array TFT 基板工艺中的气相沉积；产生的非金属膜层,为金属电路提供保护、开关作用；在 PECVD 工艺制程中,腔体设计复杂,反应条件苛刻,产生的制程物会造成产品不良,故需要定期进行 PM(pre maintenance 预防性维护)。本文以 PECVD PM 作业为背景,针对设备 PM 耗时长的问题,制定了改善方法,并着重介绍了腔体检漏工具的设计过程。设计制作了一台国产化检漏工具,成功运用于量产。通过测试,检漏工具3 min 内达到10 mT(1 mT＝0．133 Pa),漏率为0．45 mT/min,基本符合设备 Spec．(标准)要求。
关键词:
TFT-LCD
,
PECVD
,
腔体检漏工具
,
自主设计
王建坤
,
韩大伟
,
吕海荣
材料研究学报
对淀粉进行了流变相接枝改性,测定织造区域内经纱表面浆膜温度,分析了PVA共混浆膜及原淀粉共混浆膜的动态力学行为.结果表明:在经纱表面浆膜的温度28.3-35.1℃范围内PVA共混浆膜的阻尼特性优于原淀粉共混浆膜,其储能模量(400-450 MPa)和耗能模量(25-30 MPa)均远大于原淀粉共混浆膜的储能模量(<50 MPa)和耗能模量(<5 MPa);经流变相接枝改性后,接枝淀粉的储能模量和耗能模量分别达到500-520 MPa和35-40 MPa,分别提高了900%和600%.流变相接枝改性改善了原淀粉共混浆膜的阻尼特性,解决了浆膜脆、硬、落浆落物等问题.
关键词:
高分子材料
,
纺织浆料
,
流变相接枝
,
阻尼特性
