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溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌薄膜

韦美琴 , 张光胜 , 姚文杰

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2007.04.012

采用溶胶-凝胶工艺在普通玻璃片上制备了掺铝氧化锌薄膜.通过X-射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的组织结构和形貌进行了表征,结果表明:用溶胶-凝胶法制得的掺铝氧化锌薄膜为纤锌矿型结构,呈c轴方向择优生长,表面均匀、致密.通过紫外-可见透射光谱(UV)和标准四探针法对薄膜的光电性能进行了...

关键词: 溶胶-凝胶法 , 铝离子掺杂 , c轴择优取向 , 光电性能 , 氧化锌薄膜