张璐
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吴振东
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肖德涛
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梁海英
,
鞠薇
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陈东风
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傅元勇
原子核物理评论
doi:10.11804/NuclPhysRev.31.04.528
使用中国原子能科学研究院HI-13串列加速器产生的32 S离子轰击BOPET薄膜,薄膜在空气中陈化3个月后在专用装置中使用NaOH溶液蚀刻制备核孔膜,研究NaOH溶液浓度、蚀刻温度对微孔孔形的影响。在不同温度和蚀刻液浓度条件下,蚀刻出微孔孔径为0.2至0.93μm的亚微米核孔膜,计算其微孔锥角,得出微孔锥角随着蚀刻温度、蚀刻液浓度和微孔孔径的变化趋势。研究表明,采用低浓度、高温度的NaOH溶液蚀刻有利于减小微孔锥角,有利于制备较小孔径的核孔膜。如选用0.5 mol/L的NaOH溶液浓度,在蚀刻温度为90℃的条件下蚀刻,此时蚀刻时间小于2 h,既可以得到高质量微孔膜也有利于提高生产效率。
关键词:
核孔膜
,
锥角
,
32 S离子
,
PET膜