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集成电路制造用溅射靶材绑定技术相关问题研究

雷继锋

金属功能材料

集成电路制造用溅射靶材的绑定技术,又称焊接或粘接技术,是溅射机台设计和制造工程师、溅射靶材开发生产工程师、以及集成电路制造工艺和设备工程师共同关心的问题,通过对比研究机械连接、钎焊、胶粘结、扩散焊、电子束焊和爆炸焊的应用条件和优缺点,增进溅射靶材设计、生产和使用相关工程师对靶材绑定技术的交流和认识.

关键词: 溅射靶材 , 钎焊 , 扩散焊 , 电子束焊 , 爆炸焊