王敬义
,
尹盛
,
陶甫廷
,
吴京波
,
冯信华
,
苏睿
,
许淑慧
,
陈正强
,
陈文辉
,
罗文广
稀有金属材料与工程
根据硅粉纯化的要求,提供了一种长落程和高反应速率的冷等离体反应器.工艺参数的选择着重于增大鞘层厚度、提高反应粒子浓度和控制抽气速率,因此,能有效的提高纯化反应的速率、粉料的回收率和粉粒一次沉降的时间.实验结果表明:该设备能将纯度为99%的工业硅纯化为约99.99%的太阳级硅.
关键词:
等离子体纯化
,
纯化反应
,
表面刻蚀
王敬义
,
王宇
,
陶甫廷
,
陈文辉
,
张巍
,
冯信华
,
陶臻宇
,
尹盛
稀有金属材料与工程
限于工艺条件, 我们过去曾得出粉粒在等离子体中沉降时, 提纯效果可忽略不计, 本文经过详细的分析、计算和论证表明, 沉降时间及提纯速率可经工艺改进而提高到使提纯效果达到决定性的地步. 文中提供了计算结果、改进措施及粉粒可收集的判据. 这对于提高等离子体总的冶金效应和将其推向应用都具有很大的意义.
关键词:
等离子体冶金
,
沉降时间
,
提纯速率
陶甫廷
,
王敬义
,
何笑明
,
王宇
稀有金属材料与工程
由溅射速率方程和反应粒子输运方程得出了靶面化合物的覆盖度.所有方程都用反应室结构参数和宏观参数表示.文中还给出了溅射淀积TiN薄膜的计算结果,结果表明与实验数相吻合.所建立的方法便于工艺优化的实施,属新的工程方法.
关键词:
反应溅射
,
靶中毒
,
反应粒子
