陈黄鹂
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罗发
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周万城
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朱冬梅
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吴红焕
稀有金属材料与工程
研究了用溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜的工艺、掺杂及其显微结构.用六水合氯化铝在溶胶中引入Al2O3.掺杂Al的含量为1%,3%,6%和9%.用浸涂法在石英玻璃基片上浸涂ZnAO薄膜,研究了热处理、掺杂对ZAO薄膜相组成和显微结构的影响.X射线衍射结果表明,衍射图谱中无Al2O3的衍射峰.随着掺杂量的变化,ZnO主要衍射峰的位置、晶面间距均发生了有规律的变化,说明Al掺杂进了ZnO晶格中.研究结果表明,溶胶浓度、Al掺杂量、热处理温度都影响薄膜的显微结构.当薄膜厚度较大时,热处理过程中ZnO晶粒呈现明显的择优生长现象.
关键词:
溶胶-凝胶
,
Al3+掺杂
,
ZAO薄膜
徐洁
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罗发
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陈黄鹂
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李军奇
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苏晓磊
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周万城
稀有金属材料与工程
以硅粉为原料,通过添加不同含量的成孔剂,反应烧结制备出具有不同气孔率的低密度多孔氮化硅陶瓷,研究了成孔剂含量和硅粉粒度对反应烧结氮化硅性能的影响.结果表明,随着成孔剂含量的增加,试样气孔率变大,强度随之减小,烧结后试样中的α-Si3N4相增多,介电常数实部和介电损耗降低,最低介电常数实部可达到2.4左右;不同粒度硅粉中添加30%(质量分数,下同)成孔剂的坯体烧结,在气孔率保持不变的条件下,初始硅粉粒度越小,烧结后试样强度越大,介电常数实部和介电损耗明显减小.
关键词:
反应烧结
,
成孔剂
,
硅粉粒度
,
介电常数
