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钕铁硼表面真空蒸镀Al膜的制备及其性能

刘家琴 , 曹玉杰 , 张鹏杰 , 张浩 , 衣晓飞 , 陈静武 , 吴玉程

材料热处理学报

为了提高烧结NdFeB磁体的耐腐蚀性能,采用真空蒸镀的方法在烧结NdFeB磁体表面沉积A1薄膜,并对工艺过程中的工艺参数进行优化.结果表明:真空室温度对Al薄膜的结构及耐腐蚀性能基本没有影响,但温度过高会导致Al薄膜表面岛状结构的增大,造成Al薄膜的厚度一致性难以控制;随着蒸发源温度的增加,Al薄膜的沉积速率逐渐增加,但是随着蒸镀时间的延长,Al薄膜的沉积效率逐渐降低,这是由于Al蒸发原子在基片上冷凝沉积的物理驱动力下降导致的.采用最佳工艺参数制备的厚度为8μm的Al薄膜,耐中性盐雾试验时间可达60 h,且Al镀层的涂覆对NdFeB磁体的磁性能基本没有影响.

关键词: 烧结钕铁硼 , 永磁材料 , 真空蒸镀 , Al薄膜 , 耐腐蚀性能

前处理工艺对NdFeB表面真空蒸镀Al薄膜结构及性能的影响

张鹏杰 , 吴玉程 , 曹玉杰 , 徐光青 , 刘家琴 , 衣晓飞 , 陈静武

中国表面工程 doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2016.04.007

为了开发烧结钕铁硼磁体表面低损伤、环境友好型镀膜前处理工艺,在分别采用抛光、酸洗(50 s)、吹砂、吹砂+酸洗(5 s)4种不同工艺处理的烧结NdFeB磁体表面真空蒸镀Al薄膜.经不同工艺前处理的NdFeB基体和涂层的形貌采用扫描电子显微镜进行观察;采用拉伸试验对Al涂层和基体之间的结合力进行测试;NdFeB基体的自腐蚀行为采用电化学极化曲线进行表征.结果表明:吹砂前处理后NdFeB基体表面存在一层晶粒损伤层,导致镀Al薄膜试样镀层与基体之间的结合力(9.54 MPa)最差.而采用吹砂+酸洗(5 s)前处理后NdFeB表面镀Al试样镀层与基体之间结合力可达13.58 MPa.酸洗(50 s)及喷砂+酸洗(5 s)前处理后基体试样的自腐蚀电流密度基本相同(21 μA·cm-2),仅为抛光及喷砂前处理基体试样的20%.在4种工艺当中,吹砂+酸洗(5 s)前处理工艺获得最高的结合力和优异的耐腐蚀性能.

关键词: 烧结NdFeB磁体 , 前处理工艺 , 真空蒸镀 , 耐腐蚀性能

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