张毅
,
陈英颖
,
吴则嘉
,
刘晓晗
,
杨晟远
,
张林春
冶金分析
doi:10.3969/j.issn.1000-7571.2004.z1.074
介绍了利用辉光放电光谱法分析掺杂纳米硅薄膜:通过优化辉光光源激发参数、计算标准样品的溅射率,建立了掺杂纳米硅薄膜的定量表面分析方法.方法应用于实际掺杂纳米硅薄膜样品的分析,并将分析深度剖析结果与表面形貌仪的结果进行了对照.实验结果表明,本分析方法快速、准确,具有实际应用价值.
关键词:
辉光放电
,
光谱法
,
掺杂
,
纳米硅薄膜
张毅
,
邬君飞
,
陈英颖
冶金分析
doi:10.3969/j.issn.1000-7571.2004.z1.073
通过对生铸铁标样在不同直流辉光放电光源参数下的放电行为研究,优化了辉光光源参数-放电电流、放电电压、预溅射时间和积分时间,建立了辉光放电光谱法同时测定生铸铁中C,Si,Mn,P,S等12个元素的快速分析方法.分析生铸铁试样时,发现了不同灰口铸铁在碳分析结果方面存在偏差,并通过制样条件和光源参数的调整有效地减小偏差.对不同生铸铁样品进行准确度和精密度实验,结果表明:本方法快速、准确,适合生铸铁中多元素的快速分析.
关键词:
辉光放电
,
光谱法
,
生铸铁
,
成分分析