刘光诒
,
夏善红
,
吕永积
,
陈绍凤
,
李宏彦
,
罗运良
,
王建英
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2001.04.007
提出并研制出一种新型平板式全玻璃真空荧光光源(VFLS)管, 与国际上传统的真空荧光光源管比较, 新的器件在大面积碳场发射阴极, 厚膜管结构和制造工艺等方面是新颖的. 从真空荧光光源管内的工作原理出发, 分析了该器件工作时管内发生的主要物理过程, 详细介绍了研制VFLS管的制造工艺, 并讨论了此工作目前存在的问题及前景.
关键词:
真空微电子学
,
真空荧光光源
,
全玻璃平板型
陈绍凤
,
夏善红
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.01.006
封装、测试了硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器,在计算机模拟计算的基础上,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试,得出实物测试场发射电流曲线(开启电压低,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样,电压45V时发射电流可达到86mA,平均每个硅尖为21μA)、压力特性曲线(呈线性变化,与计算机模拟计算的曲线相近)及灵敏度数据.电压1.5V即可测试并且其压力特性成线性变化,灵敏度为0.3μA/kPa.
关键词:
真空微电子
,
压力传感器
,
模拟测试
,
压力特性
,
测试
