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退火对sol-gel法生长的SiO2薄膜特性的影响

郭嘉 , 龚明 , 许小亮 , 张慰萍 , 郭海 , 王燎原 , 陈滢滢 , 刘佩尧 , 刘洪图

功能材料

用正硅酸乙酯(ETOS),乙醇(EtOH),水以及盐酸以一定的比例混合配制溶胶(其中盐酸为催化剂).以普通浮法玻璃为衬底,用浸渍提拉法制备了厚度为100nm左右的SiO2薄膜.对其进行等温和等时退火,用台阶仪测定其厚度变化,给出经验拟合公式.研究了退火对透过率、折射率以及气孔率的影响,并做出比较详细的理论解释.

关键词: 退火 , sol-gel , SiO2薄膜 , 膜厚 , 折射率