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大直径FZSi中的微缺陷研究

张维连 , 赵红生 , 孙军生 , 张恩怀 , 陈洪建 , 高树良 , 刘涛 , 胡元庆 , 李颖辉 , 郭丽华

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2002.06.017

经过化学-机械抛光后,用常规的检验旋涡缺陷的方法没有观察到旋涡缺陷的FZSi片,用高温热氧化法有时则可以观察到明显的旋涡状分布的条纹图形.使用FTIR、XPS、 SEM能谱分析等手段的测量结果表明,这种旋涡状分布的图形与晶体中的掺杂剂(磷、硼)和杂质氧、碳以及重金属杂质没有明显的依赖关系,它是硅中点缺陷在晶体径向截面上呈不均匀条纹状分布的结果.本文对大直径FZSi中的旋涡缺陷的形成机理和消除方法进行了初步的探讨.

关键词: FZSi , 旋涡缺陷 , 热对流 , 点缺陷

引晶直径对泡生法蓝宝石晶体位错及小角度晶界影响的研究

陈晨 , 陈洪建 , 于海群 , 阎文博 , 刘彩池 , 王运满 , 程鹏

人工晶体学报

利用晶体生长模拟软件CGSim,模拟了引晶过程中晶体的直径对晶体生长初期晶体的热流密度和轴、径向温度梯度的影响.结果表明:随着引晶直径的减小,晶体肩部的热流密度减小,轴向及径向温度梯度减小,因而能有效的减小晶体内的热应力,减少晶体位错及小角度晶界缺陷,提高晶体质量,模拟结果得到了实验的验证.

关键词: 蓝宝石单晶 , 引晶直径 , 数值模拟 , 位错 , 小角度晶界

铁铪双掺铌酸锂晶体的光致散射研究

陈洪建 , 张维连 , 阎文博 , 李养贤

人工晶体学报

本文研究了铁铪双掺铌酸锂晶体的光致散射行为,对比了铁铪双掺铌酸锂晶体还原前后的光致散射结果.结果表明:晶体中的锂空位可使晶体暗电导增加并引起光致散射的泵浦光强阈值效应;高泵浦光强下产生的严重光致散射起源于晶体中的较高的三价铁离子浓度.铁铪双掺铌酸锂晶体具有较好的抑制光致散射的能力.

关键词: 铌酸锂 , 光致散射 , 阈值效应

氢化物气相外延氮化镓衬底的制备研究

陈洪建 , 张维连 , 陈贵峰 , 李养贤

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2007.z1.020

目前异质外延技术能够得到较高质量的氮化镓(GaN)薄膜,衬底普遍采用蓝宝石、碳化硅以及硅等.各种技术包括缓冲层、外延横向生长技术、悬挂外延技术等是目前最重要的制备氮化镓技术.氢化物气相外延(HVPE)是制备氮化镓衬底最有希望的方法之一.本文介绍了氮化镓材料的电学、光学性质及重要用途,总结了氮化镓体单晶及薄膜材料制备方法,描述了氢化物气相外延原理,分析了HVPE制备自支撑(FS)GaN衬底方法,综述了HVPE技术国内外研究进展.

关键词: 氮化镓(GaN) , 氢化物汽相外延(HVPE) , 金属有机化学气相沉积(MOCVD) , 自支撑氮化镓(FS GaN)

高掺镁铌酸锂晶体OH-吸收光谱的低温研究

师丽红 , 陈洪建 , 阎文博

人工晶体学报

本文测量了纯铌酸锂和高掺镁铌酸锂晶体的低温红外光谱,观察了OH-吸收峰的温度依赖特性.研究发现纯铌酸锂的OH-振动吸收峰基本不随温度而变化,而高掺镁铌酸锂晶体的OH-振动吸收峰的主峰峰位随温度的降低向高波数方向移动.通过分析两种晶体中不同的缺陷模型以及H+在晶格中的占位,我们提出高掺镁铌酸锂晶体中的H+紧邻高电性杂质缺陷(MgNb)3-分布,直接参与缺陷集团,完全不同于纯铌酸锂晶体中H+的分布情形,这造成了高掺镁铌酸锂晶体中OH-振动吸收峰随温度的变化.而集团内部缺陷之间相互作用随温度降低而增强的趋势是OH-振动吸收峰右移的主要原因.

关键词: 铌酸锂 , 红外吸收光谱 , 杂质缺陷

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