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王敬义 , 尹盛 , 陶甫廷 , 吴京波 , 冯信华 , 苏睿 , 许淑慧 , 陈正强 , 陈文辉 , 罗文广
稀有金属材料与工程
根据硅粉纯化的要求,提供了一种长落程和高反应速率的冷等离体反应器.工艺参数的选择着重于增大鞘层厚度、提高反应粒子浓度和控制抽气速率,因此,能有效的提高纯化反应的速率、粉料的回收率和粉粒一次沉降的时间.实验结果表明:该设备能将纯度为99%的工业硅纯化为约99.99%的太阳级硅.
关键词: 等离子体纯化 , 纯化反应 , 表面刻蚀
