刘力锋
,
陈诺夫
,
张富强
,
陈晨龙
,
李艳丽
,
杨少延
,
刘志凯
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2004.03.030
利用质量分离的低能离子束技术,获得了Fe组分渐变的Fe-Si薄膜.利用俄歇电子能谱法(AES)、 X射线衍射法(XRD)以及X射线光电子能谱法(XPS)测试了薄膜的组分、结构特性.测试结果表明,在室温下制备的Fe-Si薄膜呈非晶态.非晶薄膜在400 ℃下退火20 min后晶化,没有Fe的硅化物相形成.退火后Fe-Si薄膜的Fe组分从表面向内部逐渐降低.
关键词:
低能离子束
,
硅
,
铁
,
薄膜
刘力锋
,
陈诺夫
,
张富强
,
陈晨龙
,
李艳丽
,
杨少延
,
刘志凯
功能材料
利用质量分离的低能离子束技术,获得了磁性Fe-Si合金薄膜.利用俄歇电子能谱法(AES)、X射线衍射法(XRD)以及交变梯度样品磁强计(AGM)测试了样品的组分、结构以及磁特性.测试结果表明在室温下制备的Fe-Si合金是Fe组分渐变的非晶薄膜,具有室温铁磁性.当衬底温度为300℃时制备的非晶Fe-Si薄膜中有Fe硅化物FeSi相产生,样品的铁磁性被抑制.
关键词:
低能离子束
,
硅
,
铁磁性
,
磁性半导体
